合肥工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院導(dǎo)師：許高斌 正文

　　姓名：許高斌
　　性別：男
　　出生年月：1970-12
　　職稱：教授
　　學(xué)院：電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院
　　研究方向：
　　
　　簡歷
　　安徽肥東人，2004年畢業(yè)于東南大學(xué)6系，獲工學(xué)博士學(xué)位，2010年在中科院半導(dǎo)體研究所從事高級訪問研究?，F(xiàn)任合肥工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院教授，安徽省MEMS工程技術(shù)研究中心主任。近年來在IEEE Sensors Journal, Sensors and Actuators, Journal of Micromechanics and Microengineering, 儀器儀表學(xué)報, 半導(dǎo)體學(xué)報, 真空與科學(xué)技術(shù)學(xué)報, 中國機(jī)械工程, 電子測量與儀器學(xué)報等國內(nèi)外期刊上發(fā)表學(xué)術(shù)論文30余篇，其中SCI收錄5篇，EI收錄17篇。其主要研究的科研成果已在MEMS 專業(yè)設(shè)計軟件IntenlliSence軟件中使用，取得良好的經(jīng)濟(jì)效益和社會效益。應(yīng)邀為APCOT’2008(海峽兩岸微米納米技術(shù)研討會，2008，臺灣成功大學(xué))分會主席(Session Chair of Bio Micro-Nano Technology)，中國微米納米技術(shù)學(xué)會第十一屆學(xué)術(shù)年會（2009，哈爾濱）分會主席，應(yīng)邀為第十二屆全國敏感元件與傳感器學(xué)術(shù)會議程序委員會委員（2012.江蘇昆山）。中國微米納米技術(shù)學(xué)會高級會員，IEEE Sensors Journal 期刊審稿人。
 

　　研究方向
　　已完成的科研項目：
　　1． 863計劃項目：MEMS加工與封裝建模．模擬與IP庫，項目編號：2003AA404010。項目完成，通過專家組驗收。其科研成果已在MEMS專業(yè)設(shè)計軟件的測試模塊中應(yīng)用。
　　2． 863計劃項目：環(huán)境氣象檢測微系統(tǒng)開發(fā)，項目編號：2002AA404540。項目完成，通過專家組驗收。
　　3． 總裝備部“十•五”預(yù)研計劃：用于工藝監(jiān)控的MEMS測試結(jié)構(gòu)及方法，項目編號：41308.05.02.06。項目完成，通過專家組驗收。
　　4． 安徽省高校省級自然科學(xué)研究重點項目：基于MEMS技術(shù)CMOS兼容靜電型微繼電器研究，項目編號：2006KJ026A，2006,01-2008,12，項目主持人。
　　5． 合肥市重點科技項目計劃：便攜式微生物總數(shù)快速監(jiān)測儀，2007,11-2008,12，項目主持人。
　　6． 微電子機(jī)械系統(tǒng)教育部重點實驗室(東南大學(xué))2006年度開放課題：薄膜熱學(xué)性能在線測試結(jié)構(gòu)研究，項目編號：2006SEU-MEMS05，項目主持人。

　　目前在研的科研項目：
　　1．安徽省自然科學(xué)基金：柔性襯底單壁碳納米管陣列NEMS器件及其在納米集成電路中的應(yīng)用研究，項目主持人。
　　2．中國兵器工業(yè)第二一四研究所軍工預(yù)研基金項目1：硅基MEMS加速度傳感器（電容式），項目主持人。已流片成功。
　　3．中國兵器工業(yè)第二一四研究所軍工預(yù)研基金項目2：高g值MEMS加速度傳感器（壓阻式），項目主持人。已流片成功。
　　4．合肥邦立電子有限公司委托研發(fā)項目：數(shù)字電容式液位傳感技術(shù)的應(yīng)用開發(fā)，項目主持人。
　　5．合肥工業(yè)大學(xué)重大預(yù)研專項：車載MEMS傳感器關(guān)鍵技術(shù)，項目主持人。
　　6．國家自然科學(xué)基金－重大研究計劃：基于改性TiO2納米管陣列器件的構(gòu)造研究。
　　7．安徽省科技攻關(guān)計劃項目：SOI基高性能MEMS傳感關(guān)鍵技術(shù)研究，項目主持人。

　　主要研究領(lǐng)域有：
　　目前主要講授的課程有：
　　本科生課程：《半導(dǎo)體器件物理》（安徽省精品課程）；
　　研究生課程：《 MEMS設(shè)計與應(yīng)用》
　　已畢業(yè)碩士研究生11人，目前指導(dǎo)碩士研究生7人，協(xié)助指導(dǎo)博士研究生1人。

　　獲獎情況
　　獲獎：
　　1．2006年度高等學(xué)?？茖W(xué)技術(shù)獎：自然科學(xué)一等獎，項目名稱：多晶硅電熱微執(zhí)行器模型．制備與表征，個人證件編號：2006-***。
　　2．2009年度江蘇省科技進(jìn)步二等獎，項目名稱：微機(jī)電系統(tǒng)模型．模擬及應(yīng)用。個人證書編號：2009-*-*-**-**。

　　專利：
　?、?授權(quán)發(fā)明專利：導(dǎo)體薄膜熱導(dǎo)率測試裝置，發(fā)明人：許高斌，黃慶安，專利號：ZL03113386.X。已授權(quán)。
　?、?授權(quán)發(fā)明專利：數(shù)字電容式液位測量傳感器，發(fā)明人：許高斌，張肖康，陳興，周革，李一方，專利號： ZL 200910145055.0。已授權(quán)。
　?、?授權(quán)實用新型專利：低閾值電壓靜電型微繼電器，發(fā)明人：許高斌，何曉雄，李洋，專利號：ZL2006201654757。已授權(quán)。
　　④ 授權(quán)實用新型專利：雙柵溝道導(dǎo)電類型可調(diào)單壁場效應(yīng)晶體管，專利號：ZL 2001120248596，發(fā)明人：許高斌，陳興，周琪，王鵬，常永嘉。已授權(quán)。
　?、?授權(quán)發(fā)明專利：雙柵溝道導(dǎo)電類型可調(diào)單壁碳納米管場效應(yīng)晶體管及制備工藝，發(fā)明人：許高斌，陳興，周琪，王鵬，常永嘉，專利號：ZL 201110197345.7。
　?、?發(fā)明專利申請：不等高梳齒電容式三軸加速度傳感器及其制作方法，申請（專利）號: CN201110190985.5，發(fā)明人：許高斌。公開（公告）號: CN102401842A

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