華中科技大學(xué)工藝設(shè)備及自動(dòng)化系導(dǎo)師：甘志銀 正文

姓名：甘志銀
電話：027-87542604
職稱：教授
郵箱：ganzhiyin@126.com

?個(gè)人基本情況：
華中科技大學(xué)教授。1987在天津南開大學(xué)物理系取得學(xué)士學(xué)位，1990年在北京工業(yè)大學(xué)應(yīng)用物理系取得碩士學(xué)位。1992年到2002年，先后在北京、深圳以及武漢工作并從事光電領(lǐng)域研究。2003年6月調(diào)入華中科技大學(xué)機(jī)械科學(xué)與工程學(xué)院以及武漢光電國家實(shí)驗(yàn)室成為副教授，同時(shí)開始攻讀博士學(xué)位。于2008年被授予物理電子學(xué)博士學(xué)位，2010年成為教授。目前主要從事計(jì)算物理、MEMS/NEMS系統(tǒng)設(shè)計(jì)及仿真、MEMS制造工藝與設(shè)備、半導(dǎo)體工藝設(shè)備設(shè)計(jì)與制造等研究。作為技術(shù)帶頭人主導(dǎo)的MOCVD設(shè)備已獲得廣東省科技廳科技成果鑒定“國際先進(jìn)”評(píng)價(jià)，該設(shè)備也已進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化階段，實(shí)現(xiàn)了市場(chǎng)突破。

?主要研究方向：
微納材料與器件設(shè)計(jì)與仿真
半導(dǎo)體工藝裝備設(shè)計(jì)與制造

?開設(shè)課程：
微機(jī)電系統(tǒng)基礎(chǔ)與應(yīng)用
微納系統(tǒng)仿真
工程光學(xué)
量子力學(xué)

?承擔(dān)的科研項(xiàng)目：
MOCVD新型反應(yīng)腔設(shè)計(jì)、LED缺陷抑制和量子效率調(diào)控（“973計(jì)劃”2011CB013100-G子課題）2011.11-2016.11國家科技部（720萬）
半導(dǎo)體照明用生產(chǎn)型MOCVD設(shè)備的自主研制（2009A011602004）2009.10-2012.02廣東省科技廳（150萬）
高產(chǎn)能智能MOCVD設(shè)備的研制及產(chǎn)業(yè)化（2011A081301007）2011.11-2013.11廣東省科技廳（2000萬）
基于定向生長CNT電磁對(duì)準(zhǔn)的感應(yīng)熱壓鍵合技術(shù)研究51075171國家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目2011.01-2013.12(22.8萬)
面向跨微納尺度MEMS設(shè)計(jì)的建模仿真平臺(tái)研究2007AA04Z348863先進(jìn)制造領(lǐng)域2007.12-2009.8(39萬)
100lm/W功率型白光LED研究和產(chǎn)業(yè)化2008AA03A184863先進(jìn)制造領(lǐng)域2009.01-2012.12(40萬)
榮譽(yù)與獎(jiǎng)勵(lì)：
2006年華中科技大學(xué)優(yōu)秀青年教工

?代表性著作：
ZhiyinGan,DexiuHuang,XuefangWang,DongLin,ShengLiu.“GetterfreevacuumpackagingforMEMS”,SensorsandActuatorsA:Physical,149(1),2009:159~164.
TingkaiZhang,HonghaiZhang,JianXu,ShengLiu,ZhiyinGan.“Studyontriple-stackanodicbondingusingtwoelectrodes”,SensorsandActuatorsA:Physical,157(1),2010:168~172.
HuiCao,ZhiyinGan,QiangLv,HanYan,XiaobinLuo,XiaohuiSongandShengLiu.“Single-walledcarbonnanotubenetwork/polycompositethinfilmforflowsensor”,MicrosystemTechnologies,16(6),2010:955~959.
C.MingXiang,Y.Xingjian,G.ZhiyinandL.Sheng."ReliabilityofAnodicallyBondedSilicon－glassPackages",SensorsandActuators,120(1),2005:291~295.
SongX.H.,GanZ.Y.,LiuS.,YanH.,andLvQ.(2009),“Computationalstudyofthermocompressionbondingofcarbonnanotubestometallicsubstrates,”JournalofAppliedPhysics106:104308.
SongX.H.,GanZ.Y.,LiuS.,YanH.,andLvQ.(2009),“Controllablefabricationofcarbonnanotube-polymerhybridthinfilmforstrainsensing,”MicroelectronicEngineering86:2330-2333.
SongX.H.,LiuS.,YanH.,andGanZ.Y.,(2009),“First-principlesstudyoneffectsofmechanicaldeformationonoutersurfacereactivityofcarbonnanotubes,”PhysicaE41:626-630
Wang,P.,Gan,Z.Y.andLiu,S.(2009),“ImprovedlightextractionofGaN-basedlight-emittingdiodeswithsurface-patternedITO,”Optics&LaserTechnology41:823-826.
Gan,Z.Y.,Yan,H.,Song,X.H.,Lv,Q.,Cao,H.,Xu,J.P.,Liu,S.(2009)“ApplicationofCar-ParrinelloMolecularDynamicstoGa-richGaNBufferLayerforStressRelaxationinGaNGrownLayer,”InternationalJournalofNonlinearSciencesandNumericalSimulation.10(5):557-562.
Yan,H.,Gan,Z.Y.,Song,X.H.,Chen,Z.H.,Xu,J.P.,Liu,S.(2009),“Adsorptionconfigurationofmagnesiumonwurtzitegalliumnitridesurfaceusingfirst-principlescalculations,”PhysicaB404:3594-3597.
Yan,H.,Gan,Z.Y.,Song,X.H.,Lv,Q.,Xu,J.P.,Liu,S.(2009),“Car-Parrinellosimulationofinitialgrowthstageofgalliumnitrideoncarbonnanotube,”PhysicaE41:1143~1146.

 

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